ASML报怨了！公司掀桌子了！字据媒体报说念，10月13日开云体育，佳能公司崇拜推出5纳米芯片压印机，这样的压印机可以分娩5纳米芯片，将来致使可以分娩2纳米芯片，这下ASML遭逢大贫乏了。

一、纳米压印机平替EUV光刻机近在面前

当地时间6月7日15时20分，一架联合国租用的直升机成功在也门西部荷台达机场降落，随后起飞返回出发地吉布提，完成荷台达机场在紧急情况下使用的降落起飞测试。自2015年也门大规模内战爆发后，荷台达机场遭炮击和空袭后一直无法使用，这是8年来荷台达机场首次迎来飞机起降。

这次佳能公司推出FPA-1200NZ2C纳米压印半导体制造诱骗，这样的压印诱骗旨趣上跟EUV光刻机不相似，芯片加工经由比ASML的EUV光刻机愈加浅易，而且跟着将来掩摹本事的调动，这款压印芯片诱骗还可以分娩2nm芯片。

纳米压印诱骗引申电路图案蜕变，这是最紧迫的半导体制造工艺。据佳能先容，传统的光刻诱骗通过将电路图案投射到涂有抗蚀剂的晶圆上，而新址品通过在晶圆上的抗蚀剂上压印有电路图案的掩模来杀青这少许，就像邮票相似。由于其电路图案蜕变经由不经过光学机构，因此可以在晶圆上诚挚地再现掩模上的精采电路图案。

据先容，佳能的纳米压印光刻本事可杀青最小线宽14nm的图案化，荒谬于分娩目前源流进的逻辑半导体所需的5nm节点。此外，跟着掩摹本事的进一步调动，纳米压印光刻有望杀青最小线宽为10nm的电路图案，荒谬于2nm节点。

而且更让ASML报怨的事情是，这款佳能推出的纳米压印工艺诱骗，相干于ASML的光刻机芯片分娩来说，不详镌汰40%的制变资本和90%的电量。

然则目前来说，ASML可能还有喘气之机，佳能这款芯片分娩诱骗产量低，而且目前还在完善工艺，预测2025年量产，这样一来，ASML可能还有一两年时间好快卖EUV光刻机了，如若当今还不卖，到佳能芯片分娩诱骗无数分娩的时候，ASML公司的EUV可能就卖不动了。

天然了，关于我国来说，ASML的EUV不卖，计算佳能这款诱骗卖的可能性也不大，我国当今照旧要依靠自主立异，依靠我方搞出来先进制程EUV光刻机，或者是光刻厂，这样在将来才不会被别东说念主松驰卡住脖子了。而这样一来，当今佳能5纳米芯片压印分娩诱骗出来，就够让ASML凄惨了，如若将来我国光刻机也粉碎了，那么ASML计算就更卖不出去了，那可能就愈加欲哭无泪了。

二、纳米压印本事外洋上的本体应用

目前，纳米压印本事还是在本体芯片制造中进愚弄用。

近日音尘称，韩国的SK海力士从佳能引进了纳米压印诱骗，谋略在2025年前后，运转量产3D NAND闪存，并在测试限度很好。

“与EUV比拟，纳米压印本事形成图案的解放度较低，因此预测将优先用于分娩保管一定图案的NAND型闪存。”SK海力士运转采购诱骗亦然因为这个原因。如若纳米压印诱骗杀青商用化，以SK海力士为首的NAND闪存企业将不详培育从200层运转的工序难度越来越高的3D NAND闪存领域的分娩恶果。

据称佳能纳米压印诱骗的本事贪图可以，套刻精度达到了2.4nm/3.2nm，每小时可制造100片以上晶圆，基本达到了3D NAND大范畴分娩的水平。

三、纳米压印本事国产施展情况

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纳米压印本事一直是国产芯片诱骗企业追踪的热点本事之一，在此领域，目前主要有两大公司值得极端关心：苏大维格和天仁微纳。

近日，苏大维格公开示意：纳米压印光刻领域，公司诱骗主要为私用，对外售售金额与直写光刻机比拟较小。公司已关心到纳米压印光刻在集成电路和芯片制造领域具备替代传统光刻的应用后劲，并在积极布局。

那么，纳米压印本事目前施展若何呢？苏大维格的夏珍先容：“目前基于纳米压印本事的诱骗还没量产，处于量产评价阶段，但从实际室的角度来看，还是杀青了10+nm，将来将进一步拓展至5nm。”

另外值得关心的是深得华为哈勃投资爱好的天仁微纳。

它建筑于2015年，是一家微纳加工诱骗和措置有贪图提供商，公司专注于纳米加工领域，尤其是纳米压印本事。

目前天仁微纳还是研发出了多款高精度紫外纳米压印诱骗。据官网资料走漏，他们的纳米压印诱骗，还是可以在150／300mm基底面积上杀青高精度（优于10nm ），也说是说本体精度还是达到了10nm级别。

而目前这些诱骗，也用于DOE、AR／VR衍射光波导（包括斜齿光栅）、线光栅偏振、超透镜、生物芯片、LED、微透镜阵列等应用领域的量产。

天然说，目前这种诱骗，并莫得效于天下最为熟谙的逻辑芯片、存储芯片等，但确信也不太远了。

从苏大维格和天仁微纳来看，目前国产在纳米压印本事上是有一定的本事储备的，并非一派空缺，况兼在外洋上也算走在前方了。国产纳米压印本事全面情况，可参看飙叔小文：深度分析！“纳米压印”能否替代传统光刻机，杀青弯说念超车？实际室已杀青10+nm ！

因此，纳米压印本事的出身为半导体制造领域带来了新的念念路和纪律。尽管其仍需进一步探索和膨胀，但其有望杀青对传统光刻本事的替代，进一步鼓动了半导体制造业的立异发展。

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